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SEMI S11 - 반도체 제조 장비 미니 환경에 대한 환경, 안전 및 건강 지침 -
Volume(s):
Safety Guidelines
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
이 안전 지침은 글로벌 환경, 건강 및 안전 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2006년 8월 24일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2006년 10월에 www.semi.org에서 볼 수 있었습니다. 원래는 1996년에 출판되었습니다.
알림: 이 문서는 2006년에 투표를 거쳐 철회 승인을 받았습니다.
이 지침은 반도체 제조에 사용되는 최소 환경에 대한 성능 기반 환경, 건강 및 안전 고려 사항의 최소 세트로 의도되었습니다. 이 가이드라인은 SEMI S2를 보완하기 위한 것입니다.
참조된 SEMI 표준 SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 안전 가이드라인
SEMI S8 — 반도체 제조 장비의 인체 공학/인적 요소 공학에 대한 안전 지침
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