SEMI S10 - 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침 -

Abstract

본 안전 지침은 반도체 장비의 수명 주기에 대한 위험, 위험 평가 및 위험 평가를 식별하기 위한 위험 평가에 대한 일반 원칙을 제공합니다. 공급자와 구매자가 EHS 고려 사항에 대한 참조로 사용하기 위한 것입니다. 이 안전 가이드라인을 사용함으로써 공급자와 사용자는 보다 안전한 작업 환경을 만들기 위해 위험 감소 시스템을 식별하고 구현할 수 있습니다.

이 안전 지침의 목적은 위험을 식별할 수 있도록 위험 평가에 대한 일반 원칙을 설정하는 것입니다. 일관되고 실용적인 방식으로 위험 추정 및 위험 평가. 그만큼 문서는 장비에 대한 위험 평가를 수행하기 위한 프레임워크를 제공합니다. 반도체 및 유사 산업에 사용되며 공급업체가 사용하도록 되어 있습니다. 및 구매자는 EHS 고려 사항에 대한 참조입니다.

이 안전 가이드라인의 사용은 위험의 우선순위를 정하고 제어하기 위한 전략 개발을 지원하기 위한 것입니다.

이 안전 지침은 장비의 수명주기를 고려한 위험 평가에 적용하기 위한 것입니다.

이 안전 가이드라인은 위험 식별, 위험 평가 및 위험 평가 프로세스를 설명합니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인

SEMI S14 — 반도체 제조 장비의 화재 위험 평가 및 완화를 위한 안전 지침

개정 내역

SEMI S10-1119(기술 개정)

SEMI S10-0815E (편집 개정)

SEMI S10-0815(기술 개정)

SEMI S10-0215(기술 개정)

SEMI S10-0115(기술 개정)

SEMI S10-0307E(편집 개정)

SEMI S10-0307(기술 개정)

SEMI S10-1103(완전 재작성)

SEMI S10-1296(최초 공개)

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