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SEMI S13 - 제조 장비와 함께 사용하기 위해 장비 사용자에게 제공되는 문서에 대한 환경, 건강 및 안전 지침 -
Abstract
이 안전 가이드라인은 장비의 작동, 유지보수 및 설치 시 위험을 줄이기 위해 제조 장비와 함께 사용하도록 제공된 문서(예: 작동, 유지보수, 설치 및 안전 매뉴얼)에 환경, 건강 및 안전 정보에 대한 고려 사항을 제시합니다.
장비를 작동, 유지보수, 서비스, 설치, 오염 제거 또는 해체하는 직원은 수행할 작업을 설명하는 장비 사용자에게 제공된 문서를 읽어야 합니다.
본 안전지침은 제품의 생산, 측정, 조립, 시험을 위하여 장비를 사용하는 장비 사용자에게 제공하는 문서에 적용됩니다.
참조된 SEMI 표준
SEMI S1 — 장비 안전 라벨에 대한 안전 가이드라인
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S6 — 반도체 제조 장비의 배기 환기에 대한 EHS 가이드라인
SEMI S8 — 반도체 제조 장비의 인체공학 엔지니어링을 위한 안전 가이드라인
SEMI S10 — 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침
SEMI S12 — 제조 장비 오염 제거를 위한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S14 — 반도체 제조 장비의 화재 위험 평가 및 완화를 위한 안전 가이드라인
SEMI S16 — 수명 종료 시 환경 영향 감소를 위한 반도체 제조 장비 설계 가이드
SEMI S26 — FPD 제조 시스템을 위한 환경 건강 및 안전 가이드라인
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