SEMI S14 - 반도체 제조 장비의 화재 위험 평가 및 완화를 위한 안전 지침 -

Abstract

이 안전 지침은 화재 및 연소 부산물과 관련된 장비 및 제품에 대한 위험을 평가하고 완화하는 데 도움이 되는 반도체 제조 장비 제조업체에 대한 고려 사항을 제공합니다.

이 안전 지침은 평가 도구의 형태로 작성되었지만 반도체 제조 장비의 설계 및 개발 전반에 걸쳐 사용하기 위한 것입니다.

이 안전 지침은 이러한 장비의 사용자 및 기타 이해 당사자가 다양한 장비 설계 또는 보조 장비 또는 수정의 설계 및 평가에 설명된 위험을 평가하고 비교하는 데 사용할 수도 있습니다.

이 안전 가이드라인은 화재 위험을 완화하기 위해 어떤 기술(예: 재료 선택 또는 감지 시스템)을 사용해야 하는지 지정하기 위한 것이 아닙니다. 그러나 이러한 지침은 제거, 엔지니어링 제어, 관리 제어, 경고 및 작업 관행의 전통적인 위험 관리 계층 구조를 따를 것을 권장합니다.

이 안전 가이드라인을 적절하게 적용하면 잔여 화재 위험을 식별, 분석 및 평가하는 보고서가 생성됩니다.

이 안전 지침은 반도체 제조 공정에 사용되는 클린룸 또는 재순환 기류 내의 영역에 위치하도록 의도된 반도체 제품을 제조, 측정, 조립 및 테스트하는 데 사용되는 장비에 적용됩니다. 여기에 설명된 대로 장비의 모든 구성 요소에 적용됩니다.

이 안전 지침은 대상 장비 내에서 발생하여 해당 장비, 다른 장비, 제품 또는 시설에 손상을 줄 수 있는 화재 위험에 적용됩니다.

이 안전 지침은 반도체 제조 장비의 화재 위험을 평가하기 위한 고려 사항, 위험을 분류하는 방법 및 위험을 완화하는 방법을 식별합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E10 — 장비 신뢰성, 가용성, 유지보수성(RAM) 및 활용도의 정의 및 측정을 위한 사양

SEMI E70 - 도구 수용 프로세스 가이드

SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인

SEMI S7 — 직원 평가 및 회사 자격 평가를 위한 안전 지침

SEMI S10 — 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침

개정 내역

SEMI S14-0521(기술 개정)

SEMI S14-1016(기술 개정)

SEMI S14-0309(기술 개정)

SEMI S14-0704(기술 개정)

SEMI S14-1103(기술 개정)

SEMI S14-1102(기술 개정)

SEMI S14-0200E (편집 개정판)

SEMI S14-0200(초판)

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