SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

S02200 - SEMI S22 - 반도체 제조 장비의 전기 설계에 대한 안전 지침
S02300 - SEMI S23 - 반도체 제조 장비에서 사용되는 에너지, 유틸리티 및 재료 절약을 위한 가이드
S02400 - SEMI S24 - Safety Guideline for Multi-Employer Work Areas
SEMI S24 - Safety Guideline for Multi-Employer Work Areas 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
S02500 - SEMI S25 - 과산화수소 저장 및 취급 시스템에 대한 안전 지침
SEMI S25 - 과산화수소 저장 및 취급 시스템에 대한 안전 지침 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
S02600 - SEMI S26 - FPD 제조 시스템을 위한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S26 - FPD 제조 시스템을 위한 환경, 건강 및 안전 가이드라인 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
S02700 - SEMI S27 - 환경, 안전 및 건강(ESH) 평가 보고서 내용에 대한 안전 지침
SEMI S27 - 환경, 안전 및 건강(ESH) 평가 보고서 내용에 대한 안전 지침 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
S02800 - SEMI S28 - 반도체 제조 장비에 사용하기 위한 로봇 및 로드 포트에 대한 안전 지침
S02900 - SEMI S29 - Guide for Fluorinated Greenhouse Gas (F-GHG) Emission Characterization and Reduction
S03000 - SEMI S30 - 반도체 R&D 및 제조 공정에서 에너지 물질 사용에 대한 안전 지침
E01000 - SEMI E10 - 장비 신뢰성, 가용성, 유지보수성(RAM) 및 활용도의 정의 및 측정을 위한 사양
T00200 - SEMI T2 - 2차원 도트 매트릭스를 사용한 웨이퍼 마킹 사양
SEMI T2 - 2차원 도트 매트릭스를 사용한 웨이퍼 마킹 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
T00300 - SEMI T3 - 웨이퍼 박스 라벨 사양
SEMI T3 - 웨이퍼 박스 라벨 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
T00400 - SEMI T4 - 150mm 및 200mm 포드 식별 치수 사양
SEMI T4 - 150mm 및 200mm 포드 식별 치수 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
T00500 - SEMI T5 - 원형 복합 반도체 웨이퍼의 영숫자 마킹 사양
SEMI T5 - 원형 복합 반도체 웨이퍼의 영숫자 마킹 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
T00600 - SEMI T6 - 전자 데이터 교환(EDI)에 의한 테스트 결과 보고 절차 및 형식
SEMI T6 - 전자 데이터 교환(EDI)에 의한 테스트 결과 보고 절차 및 형식 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
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