SEMI PV88 - 불활성 기체 융합 적외선 흡수 방법에 의한 광전지(PV) 폴리실리콘의 수소 측정을 위한 테스트 방법 -

Abstract

이 표준은 Photovoltaic – Materials Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2018년 7월 6일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2018년 10월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다.

이 테스트 방법의 목적은 다결정 실리콘 잉곳에 대한 주조 공정의 안전성과 PV의 후속 특성 및 성능과 관련된 폴리실리콘 잉곳의 품질에 영향을 미칠 수 있는 광전지(PV) 폴리실리콘의 수소 함량 측정을 위한 분석 프로토콜을 표준화하는 것입니다. 태양열 제품. 이를 통해 PV 폴리실리콘 및 기타 PV 실리콘 재료를 모니터링하거나 검증하는 데 사용되는 전 세계 실험실 간의 테스트 결과를 쉽게 비교할 수 있습니다.

이 테스트 방법은 모든 유형의 PV 폴리실리콘을 포함하는 PV 애플리케이션용 폴리실리콘의 수소 함량을 분석하는 데 사용할 수 있습니다. 예를 들어, 유동층 공정 또는 PV 폴리실리콘 웨이퍼 및 슬러그 등으로 생산된 입상 다결정 실리콘.

동일한 매트릭스 및 장비를 기반으로 테스트 방법은 PV 모노실리콘, 반도체 모노실리콘 및 반도체 폴리실리콘, 금속 실리콘 및 실리콘 분말을 포함한 실리콘 원료 등을 포함하는 다른 실리콘 재료의 수소 함량을 결정하는 데에도 사용할 수 있습니다.

이 테스트 방법은 불활성 기체 융합 원리를 기반으로 하고 적외선 검출기를 측정 기술로 사용하는 상용 수소 분석기와 함께 사용하기 위한 것입니다.

설명된 방법의 감지 범위는 개별 수소 분석기의 감지 범위에 따라 달라집니다. 하나의 수소 분석기의 경우, 질량 백분율(%, m/m)로 표시되는 검출 범위는 샘플의 다른 무게에 따라 변경될 수 있습니다. 예를 들어, 시중에서 판매되는 3개의 수소 분석기 중 첫 번째의 검출 범위는 0.0001mg 수소와 2.5mg 수소 사이(즉, 1g 샘플에 대해 0.00001%( m/m )와 0.2500%( m/m ) 또는 0.15g 샘플의 경우 0.00007%( m/m ) 및 1.666%( m/m )), 두 번째는 0.0001mg 수소와 1.0mg 수소 사이(즉, 0.00001%( m/m )와 0.1000%( m/m 사이) ) 또는 0.15g 샘플의 경우 0.00007%( m/m ) 및 0.666%( m/m ) 사이), 세 번째는 0.00008mg 수소 및 2.5mg 수소 사이(즉, 0.000008%( m/m ) 및 1g 샘플의 경우 0.2500%( m/m ) 또는 0.15g 샘플의 경우 0.00006%( m/m ) 및 1.666%( m/m ) 사이).

폴리실리콘 분말, 과립, 청크, 단결정 및 다결정 웨이퍼 및 슬러그를 포함하여 다양한 물리적 형태의 실리콘 샘플을 사용할 수 있습니다.

　

이 테스트 방법에 설명된 수소 결정은 모든 도펀트 종 및 농도에 관계없이 사용할 수 있습니다.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI PV17 — 태양광 애플리케이션용 버진 실리콘 공급원료 사양
SEMI PV22 — 광기전 태양 전지용 실리콘 웨이퍼 사양
SEMI PV43 — 불활성 기체 융합 적외선 검출 방법에 의한 실리콘 태양 전지용 PV 실리콘 재료의 산소 농도 측정을 위한 테스트 방법

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