SEMI PV90 - 단결정 실리콘 재배자에 사용되는 내부 피더의 재료 요구 사항에 대한 가이드 -

Abstract

1 목적

1.1 내부 피더는 보충 또는 재충전 목적으로 추가 다결정 실리콘을 결정 성장기의 도가니에 적재할 수 있게 해주는 장치로, 여전히 전체 용광로 진공 및 온도 조건을 유지합니다 .

1.2 내부 피더는 광전지 산업에서 단결정 실리콘 성장을 위해 널리 사용됩니다. 피딩 과정에서 고순도 다결정 실리콘이 피더 부품과 밀착됩니다. 따라서, 내부 피더의 구성에 사용되는 재료가 다결정 실리콘을 오염시켜 실리콘 결정의 품질에 악영향을 미칠 수 있다.

1.3 내부 피더는 고온 환경에서 작동합니다. 건축 자재는 이러한 환경에서 적절한 기계적 강도를 유지해야 합니다.

1.4 많은 재료 공급 업체, 반도체 장치 제조업체, 장비 제조업체 및 결정 생산 업체가 내부 공급 장치의 제조 및 활용에 관여합니다. 따라서 제품 품질을 보장하기 위해서는 재료 요구 사항에 대한 가이드가 필요합니다.

1.5 이 기술 가이드의 목적은 다음에 관한 모범 사례 권장 사항을 만드는 것입니다. 내부 피더 건설에 사용되는 재료로 피더가 도전적인 작업 환경에서 잘 수행하는 동시에 다결정 실리콘 재료에 대한 오염 l.

2 범위

2.1 이 가이드는 태양광 산업을 위해 단결정 실리콘을 성장시키는 데 사용되는 내부 피더를 다룹니다.

2.2 이 가이드는 내부 피더에 사용되는 다양한 건축 자재에서 실리콘 용융물로 잠재적으로 전달되는 불순물 수준을 정량화합니다. 또한 내부 피더에 적합한 건축 자재를 선택하기 위한 지침도 제공합니다.

2.3 이 가이드는 다결정 실리콘에서 일반적으로 발견되는 불순물을 나열하고 이러한 불순물이 완성된 태양 전지에 미칠 수 있는 영향을 간략하게 설명합니다.

2.4 이 가이드는 또한 내부 피더의 다른 온도 영역과 온도 각 지역에서 사용되는 재료의 한계.

 

참조된 SEMI 표준:

SEMI PV17 — 태양광 애플리케이션용 버진 실리콘 공급원료 사양

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