SEMI S18 - 인화성 실리콘 화합물에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인 -

Abstract

이 안전 지침은 환경 보건 및 안전 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2018년 5월 22일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2018년 8월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 제공됩니다. 원래 2002년 11월에 출판되었습니다. 이전에 2012년 3월에 게시되었습니다.

이 안전 지침은 공급에서 저감에 이르기까지 가연성 실리콘 화합물의 저장, 취급 및 사용에 대한 최소한의 안전 및 건강 기준을 제공하기 위한 것입니다.

이 안전 지침은 반도체, FPD, PV 제조 장비 및 가연성 실리콘 화합물을 사용하여 처리하는 기타 장비에 대한 안전 및 건강 설계 기준의 최소 세트로도 사용됩니다.

이 안전 지침의 범위에 속하는 가연성 실리콘 화합물은 표 1에 나와 있습니다.

표 1에 포함된 가연성 규소 화합물을 포함하는 가연성 혼합물도 이 안전 지침의 범위에 포함됩니다.

이 안전 가이드라인의 일부 섹션과 포함된 일부 보충 자료에서 텍스트 오른쪽 열은 텍스트가 적용되는 인화성 실리콘 화합물을 지정합니다. 이러한 열의 헤더에서 "CG"는 '압축 가스'를 나타내고, "LG"는 '액화 압축 가스'를 나타내며, "L"은 '액체'를 나타냅니다. 그러한 컬럼이 없는 경우 재료는 이 문서의 범위에 포함된 모든 인화성 실리콘 화합물에 적용됩니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI F1 — 고순도 가스 배관 시스템 및 부품의 누출 무결성에 대한 사양
SEMI F5 — 기체 유출물 처리 가이드
SEMI F6 - 유해 가스 배관 시스템의 2차 봉쇄 가이드
SEMI S1 — 장비 안전 라벨에 대한 안전 가이드라인
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S4 — 분배 캐비닛에 포함된 화학 실린더의 분리에 대한 안전 지침
SEMI S5 — 가스 실린더 밸브의 유량 제한 장치 크기 조정 및 식별을 위한 안전 지침
SEMI S6 — 반도체 제조 장비의 배기 환기에 대한 환경, 건강 및 안전 지침
SEMI S10 — 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침
SEMI S13 — 반도체 제조 장비와 함께 사용하기 위해 장비 사용자에게 제공되는 문서에 대한 환경, 건강 및 안전 지침
SEMI S14 — 반도체 제조 장비의 화재 위험 평가 및 완화를 위한 안전 지침

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