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SEMI S22 - 반도체 제조 장비의 전기 설계에 대한 안전 지침 -
Abstract
이 안전 지침은 반도체 산업에서 사용되는 생산 장비에 대한 일련의 설계 기반 전기 안전 고려 사항을 제공합니다. 기본적인 제품 안전 문제는 감전 또는 화재 위험으로부터 보호하기 위해 이 안전 지침에서 설정한 설계, 구성 및 테스트 원칙을 충족함으로써 해결됩니다. 그 의도는 장비의 전기 안전을 용이하게 하기 위해 설계 엔지니어와 평가자 모두에게 유용한 설계 기반 전기 문서를 제공하는 것입니다.
이 안전 지침은 반도체 산업에서 사용되는 생산 장비에 대한 일련의 설계 기반 전기 안전 고려 사항을 제공합니다.
기본 제품 안전 문제는 이 문서에 명시된 설계, 구성 및 테스트 원칙을 충족하거나 해당 요구 사항을 충족함으로써 해결할 수 있습니다. 전기 안전 기준.
이 안전 지침은 반도체 제조 장비에 적용됩니다.
이 안전 지침에는 전기 및 비전기적 안전 위험으로부터 보호하는 전기 안전 인터록에 대한 설계 고려 사항이 포함되어 있습니다. 전기 안전 위험으로부터 보호하는 비전기적 인터록.
이 문서는 장비가 특별히 제외되지 않는 한 반도체 제품을 제조, 측정, 조립 및 테스트하는 데 사용되는 모든 장비의 전기적 설계에 적용됩니다. § 참조
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