SEMI S12 - 제조 장비 오염 제거를 위한 환경, 건강 및 안전 지침 -

Abstract

이 표준은 글로벌 환경, 건강 및 안전 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2015년 8월 31일에 글로벌 감사 및 리뷰 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 원래 1998년에 출판되었습니다. 이전에 2011년 2월에 게시되었습니다.

E 이 표준은 구두점 오류를 수정하기 위해 2015년 11월 편집상 수정되었습니다. 제목이 변경되었습니다.

이 문서는 유해 물질에 노출되었거나 노출되었을 가능성이 있고 추가 생산 용도로 사용되는 제조 장비(ME) 및 부품의 오염 제거에 대한 지침을 설정합니다. 보다 생산적인 용도로 사용하기 위한 장비에는 재사용, 재판매, 수리, 보수 또는 재배치용으로 제공되는 장비가 포함됩니다.

이 안전 지침은 지역, 주, 국가 및 국제 규정 및 조직 정책을 적절히 고려하여 각 현장에서 채택되어야 합니다.

이 안전 가이드라인은 개별 상황에 존재할 수 있는 실질적인 한계를 인정하면서 가능한 한 운송 전에 오염 제거가 이루어지도록 하기 위해 사용됩니다. 많은 경우에 ME를 파괴하지 않고는 완전한 화학적 오염 제거를 달성할 수 없다는 것이 인정됩니다. ME 양도인은 양수인이 알고 있는 나머지 모든 잠재적 위험을 명확하게 식별할 수 있도록 해야 합니다.

이 안전 가이드라인은 유해 물질에 노출되었거나 노출되었을 가능성이 있고 인간의 건강이나 환경에 위협이 될 수 있는 ME 및 부품의 오염 제거 및 취급에 적용됩니다. 취급 활동에는 운송 전 종료, 분해, 제거, 라벨 부착 및 포장이 포함됩니다.

이 안전 가이드라인은 오염 제거 및 오염 제거와 관련된 잔류 위험 문서화에 대한 최소 기준을 설명합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인

SEMI S16 — 수명 종료 시 환경 영향 감소를 위한 반도체 제조 장비 설계 가이드

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