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SEMI S9 - SEMI S22로 이동한 반도체 제조 장비에 대한 전기 설계 검증 테스트 가이드 -
Volume(s):
Safety Guidelines
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
이 표준은 글로벌 환경, 건강 및 안전 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2010년 12월 21일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2011년 2월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1995년에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2007년 3월.
이 문서의 목적은 모든 기술 콘텐츠가 SEMI S22에 통합되었음을 나타내는 SEMI S9에 대한 영구 철회 통지를 제공하는 것입니다.
참조된 SEMI 표준
SEMI S1 — 장비 안전 라벨에 대한 안전 가이드라인
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S22 — 반도체 제조 장비의 전기 설계에 대한 안전 가이드라인
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