SEMI S17 - 무인 운송 차량(UTV) 시스템에 대한 안전 지침 -

Abstract

이 안전 지침은 무인 운송 차량(UTV) 시스템에 대한 일련의 안전 고려 사항을 제공하기 위한 것입니다. UTV 시스템은 반도체 또는 평판 디스플레이(FPD) 공장이나 실험실 내에서 재료 이동을 자동화하는 데 사용됩니다. UTV 시스템에는 FTV(Floor Traveling Vehicle) 시스템과 OTV(Overhead Traveling Vehicle) 시스템이 모두 포함됩니다.

　

이 안전 지침은 반도체 또는 FPD 제조에 사용되는 UTV 및 UTV 시스템에 적용됩니다.

　

이 안전 지침은 바닥 주행 및 머리 위 주행 UTV 및 UTV 시스템을 모두 다룹니다. FTV 시스템에는 AGV(Automated Guided Vehicle) 시스템과 RGV(Rail Guided Vehicle) 시스템이 포함됩니다. OTV 시스템에는 OHS(Overhead Shuttle) 시스템과 OHT(Overhead Hoist Transport) 시스템이 있습니다.

　

이 문서에 대한 적합성에 대한 평가는 레일, 제어 패널, 전원 패널, 유지 보수/서비스 공간의 OHT 또는 OHS 리프터 및 운영, 유지 보수에 필요한 기타 유형의 장비와 같은 별도의 항목을 포함하여 모든 UTV 및 UTV 시스템에 대해 수행되어야 합니다. 또는 UTV 서비스.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI E15.1 — 300mm 공구 로드 포트 사양
SEMI E23 — 카세트 전송 병렬 I/O 인터페이스 사양
SEMI E84 — 향상된 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스 사양
SEMI S1 — 장비 안전 라벨에 대한 안전 가이드라인
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S8 — 반도체 제조 장비의 인체공학 엔지니어링을 위한 안전 가이드라인
SEMI S10 — 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침
SEMI S13 — 반도체 제조 장비와 함께 사용하기 위해 장비 사용자에게 제공되는 문서에 대한 환경, 건강 및 안전 지침
SEMI S22 — 반도체 제조 장비의 전기 설계에 대한 안전 가이드라인
SEMI S26 — FPD 제조 시스템을 위한 환경, 건강 및 안전 가이드라인

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