SEMI S16 - 수명 종료 시 환경 영향 감소를 위한 반도체 제조 장비 설계 가이드 -

Abstract

이 표준은 환경, 건강 및 안전 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2012년 6월 18일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2000년 6월에 처음 출판되었습니다. 이전에 출판된 2007년 3월.

알림: 이 문서는 약간의 편집 변경을 거쳐 재승인되었습니다.

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 문서는 반도체 제조 장비(SME) 또는 그 부품의 수명 종료를 고려하여 환경 영향을 최소화하기 위한 설계 가이드를 제공합니다.

이 가이드는 수명 종료 시 SME 또는 구성 요소 폐기의 환경 영향을 최소화하기 위한 설계 고려 사항을 다룹니다.

이 가이드는 SME 또는 해당 구성 요소의 재사용 또는 재활용을 장려하기 위한 설계 고려 사항을 다룹니다.

이 가이드에는 다음 항목이 포함되어 있습니다.

• 목적
• 범위
• 제한 사항
• 참조 표준 및 문서
• 술어
• 일반 개념
• 재료 선택
• 재사용 또는 재활용 가능성 식별
• 재사용 또는 재활용을 위한 설계
• 장비 공급자가 준비해야 할 문서

참조된 SEMI 표준

SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S12 — 장비 오염 제거 지침
SEMI S13 — 반도체 제조 장비와 함께 사용하기 위해 장비 사용자에게 제공되는 문서에 대한 환경, 건강 및 안전 지침

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