SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

M04700 - SEMI M47 - CMOS LSI 애플리케이션용 SOI(Silicon-on-Insulator) 웨이퍼 사양
SEMI M47 - CMOS LSI 애플리케이션용 SOI(Silicon-on-Insulator) 웨이퍼 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
M04900 - SEMI M49 - 130nm ~ 16nm 기술 세대를 위한 실리콘 웨이퍼용 형상 측정 시스템 지정 가이드
M05000 - SEMI M50 - 오버레이 방법으로 표면 스캐닝 검사 시스템의 캡처율 및 오계수율을 결정하기 위한 테스트 방법
M05100 - SEMI M51 - Test Method for Characterizing Silicon Wafer by Gate Oxide Integrity - SEMI Dev 2
M05200 - SEMI M52 - 130nm ~ 5nm 기술 세대를 위한 실리콘 웨이퍼용 스캐닝 표면 검사 시스템 지정 가이드
M05300 - SEMI M53 - 패턴이 없는 반도체 웨이퍼 표면에 단분산성 기준 구체의 인증 증착을 사용하여 스캐닝 표면 검사 시스템을 교정하기 위한 실습
M05400 - SEMI M54 - 반절연(SI) GaAs 재료 매개변수 가이드
SEMI M54 - 반절연(SI) GaAs 재료 매개변수 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
M05500 - SEMI M55 - 연마된 단결정 실리콘 카바이드 웨이퍼 사양
SEMI M55 - 연마된 단결정 실리콘 카바이드 웨이퍼 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
M05600 - SEMI M56 - 측정 변동성 및 편향으로 인한 계측 장비의 비용 구성 요소 결정을 위한 실습
M05700 - SEMI M57 - 실리콘 열처리 웨이퍼 사양
SEMI M57 - 실리콘 열처리 웨이퍼 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
M05800 - SEMI M58 - DMA 기반 입자 증착 시스템 및 프로세스를 평가하기 위한 테스트 방법
M05900 - SEMI M59 - 실리콘 기술 용어
SEMI M59 - 실리콘 기술 용어 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
M06000 - SEMI M60 - Si 웨이퍼 평가를 위한 SiO2 필름의 시간 종속 유전체 파괴 특성에 대한 테스트 방법
M06100 - SEMI M61 - 매립층이 있는 실리콘 에피택셜 웨이퍼 사양
SEMI M61 - 매립층이 있는 실리콘 에피택셜 웨이퍼 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
M06200 - SEMI M62 - 실리콘 에피택시 웨이퍼 사양
SEMI M62 - 실리콘 에피택시 웨이퍼 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
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