SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

M06300 - SEMI M63 - 고분해능 X선 회절에 의해 GaAs 기판에서 AlGaAs의 Al 비율을 측정하기 위한 테스트 방법
M06400 - SEMI M64 - 적외선 흡수 분광법에 의한 반절연(SI) 갈륨 비소 단결정의 EL2 딥 도너 농도에 대한 테스트 방법
M06500 - SEMI M65 - 복합 반도체 에피택셜 웨이퍼에 사용할 사파이어 기판 사양
SEMI M65 - 복합 반도체 에피택셜 웨이퍼에 사용할 사파이어 기판 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩245,000
M06600 - SEMI M66 - MIS 플랫 밴드 전압 절연체 두께 기법을 사용하여 산화물 및 고유전율 게이트 스택에서 유효 일함수를 추출하는 테스트 방법
M06700 - SEMI M67 - ESFQR, ESFQD 및 ESBIR 메트릭을 사용하여 측정된 두께 데이터 어레이에서 웨이퍼 니어 에지 형상을 결정하기 위한 테스트 방법
M06800 - SEMI M68 - 곡률 메트릭(ZDD)을 사용하여 측정된 높이 데이터 어레이에서 웨이퍼 니어 에지 형상을 결정하기 위한 테스트 방법
M07000 - SEMI M70 - 부분 웨이퍼 부위 평탄도를 사용하여 웨이퍼에 가까운 가장자리 형상을 결정하기 위한 테스트 방법
M07100 - SEMI M71 - CMOS LSI용 SOI(Silicon-on-Insulator) 웨이퍼 사양
SEMI M71 - CMOS LSI용 SOI(Silicon-on-Insulator) 웨이퍼 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩245,000
M07300 - SEMI M73 - 측정된 웨이퍼 에지 프로파일에서 관련 특성을 추출하기 위한 테스트 방법
M07400 - SEMI M74 - 450mm 직경의 기계적 취급 광택 웨이퍼 사양
SEMI M74 - 450mm 직경의 기계적 취급 광택 웨이퍼 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩245,000
M07500 - SEMI M75 - 연마된 단결정 갈륨 안티몬화물 웨이퍼 사양
SEMI M75 - 연마된 단결정 갈륨 안티몬화물 웨이퍼 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩245,000
M07600 - SEMI M76 - 개발용 450mm 직경 연마 단결정 실리콘 웨이퍼용 사양
SEMI M76 - 개발용 450mm 직경 연마 단결정 실리콘 웨이퍼용 사양 정상 가격₩433,000 KRW 할인 가격₩245,000 KRW
M07700 - SEMI M77 - Roll-Off Amount, ROA를 사용하여 Wafer Near-Edge 형상을 결정하기 위한 테스트 방법
M07800 - SEMI M78 - 대량 제조에서 130nm ~ 22nm 세대를 위한 패턴이 없는 실리콘 웨이퍼의 나노토포그래피 결정을 위한 가이드
M07900 - SEMI M79 - 태양 전지 응용 분야를 위한 원형 100mm 광택 단결정 게르마늄 웨이퍼 사양
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