SEMI M31 - 300mm 웨이퍼 운송 및 배송에 사용되는 전면 개방 배송 상자의 기계적 특징 사양 -

Abstract

이 표준은 Silicon Wafer Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2018년 2월 1일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2018년 7월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 1998년 6월에 처음 출판되었습니다. 이전에 출판된 2008년 7월.

이 표준은 웨이퍼 품질을 유지하면서 웨이퍼 공급업체에서 고객(일반적으로 IC 제조업체)으로 300mm 웨이퍼를 배송하는 데 사용되는 FOSB(Front-Opening Shipping Box)를 지정합니다.

이 표준은 모든 기계적 인터페이스에서 모듈성과 호환성을 보장하면서 혁신에 대한 최소한의 제한을 두는 적절한 수준의 사양을 설정하기 위한 것입니다. 다만, 본 규격은 사출성형 플라스틱 FOSB를 그에 준하여 제작할 수 있도록 작성되었으며, 이를 운송, 도어 개폐 시 웨이퍼 품질 유지에 활용할 수 있도록 하였다.

이 표준은 FOSB가 웨이퍼 제조의 마지막 공정, 인수 및 검사, FOSB에서 전면 개방 통합 포드(FOUP), 공장 간 운송을 위한 전면 개방 상자(FOBIT)로 웨이퍼를 이송하는 데 사용된다고 가정합니다. 또는 IC 제조 시설 내부의 열린 카세트. FOSB는 IC 제조 공정에 사용하기 위한 것이 아닙니다. 자동화된 방법을 사용하여 FOSB에서 FOUP, FOBIT 또는 개방형 카세트로 웨이퍼를 이송하는 것이 좋습니다. ¶5.4에 설명된 대로 구매자는 필요한 FOSB 도어 유형을 지정해야 합니다.

1. ¶5.4.1에 설명된 수동 도어; 또는
2. ¶ 5.4.2에 설명된 자동 배송 가능한 도어.

참조된 SEMI 표준

SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양
SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양
SEMI E15.1 — 300mm 공구 로드 포트 사양
SEMI E47.1 — 300mm 웨이퍼 운송 및 보관에 사용되는 FOUPS의 기계적 사양
SEMI E57 — 300mm 웨이퍼 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링 사양
SEMI E62 — 300mm FIMS(Front-Opening Interface Mechanical Standard) 사양
SEMI M45 — 300mm 웨이퍼 운송 시스템 사양
SEMI S8 — 반도체 제조 장비의 인체공학 엔지니어링을 위한 안전 가이드라인

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