SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

M03100 - SEMI M31 - Specification for Mechanical Features of Front-Opening Shipping Box Used to Transport and Ship 300 mm Wafers - SEMI Dev 2
M03200 - SEMI M32 - 통계 사양 가이드
SEMI M32 - 통계 사양 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
M03400 - SEMI M34 - SIMOX 웨이퍼 지정 가이드
SEMI M34 - SIMOX 웨이퍼 지정 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
M03500 - SEMI M35 - 자동 검사로 감지되는 실리콘 웨이퍼 표면 특징에 대한 사양 개발 가이드
M03600 - SEMI M36 - 낮은 전위 밀도 갈륨 비소 웨이퍼에서 에칭 피트 밀도(EPD)를 측정하기 위한 테스트 방법
M03700 - SEMI M37 - 낮은 전위 밀도 인듐 인화물 웨이퍼에서 에칭 피트 밀도(EPD)를 측정하기 위한 테스트 방법
M03800 - SEMI M38 - Specification for Polished Reclaimed Silicon Wafers - SEMI Dev 2
SEMI M38 - 광택 재생 실리콘 웨이퍼 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
M03900 - SEMI M39 - 반절연 GaAs 단결정의 비저항 및 홀 계수 측정 및 홀 이동성 결정을 위한 테스트 방법
M04000 - SEMI M40 - 광택 웨이퍼의 평면 표면 거칠기 측정 가이드
SEMI M40 - 광택 웨이퍼의 평면 표면 거칠기 측정 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
M04100 - SEMI M41 - 전력 장치/IC용 SOI(Silicon-on-Insulator) 사양
SEMI M41 - 전력 장치/IC용 SOI(Silicon-on-Insulator) 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
M04200 - SEMI M42 - 복합 반도체 에피택셜 웨이퍼 사양
SEMI M42 - 복합 반도체 에피택셜 웨이퍼 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
M04300 - SEMI M43 - 웨이퍼 나노토포그래피 보고 가이드
SEMI M43 - 웨이퍼 나노토포그래피 보고 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
M04400 - SEMI M44 - 실리콘의 침입형 산소에 대한 변환 계수 가이드
SEMI M44 - 실리콘의 침입형 산소에 대한 변환 계수 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
M04500 - SEMI M45 - 300mm 웨이퍼 운송 시스템 사양
SEMI M45 - 300mm 웨이퍼 운송 시스템 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
M04600 - SEMI M46 - ECV 프로파일링을 통해 에피택셜 층 구조에서 캐리어 농도를 측정하기 위한 테스트 방법
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