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SEMI HB8 - 사파이어 단결정의 방향 결정을 위한 테스트 방법 -
Volume(s):
HB-LED
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
이 표준은 HB-LED 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2016년 12월 8일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2017년 2월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다.
이 표준의 목적은 사파이어 실린더, 사파이어 잉곳, 사파이어 웨이퍼 등을 포함하는 사파이어 단결정 방위 측정을 위한 테스트 방법을 표준화하는 것입니다. 사파이어 잉곳 코어링에서 원통형 잉곳 롤링에서 절단까지 사파이어 단결정 공정의 표준화를 향상시킬 것입니다. 사파이어 제품을 개선하기 위한 솔루션을 제공합니다. 유사한 프로세스가 ASTM E82에 정의되어 있습니다.
이 사양의 테스트 방법은 X선 회절 방향입니다.<br>이 테스트 방법은 사파이어 단결정 재료의 낮은 굴절률 평면에 실질적으로 평행한 표면의 결정학적 방향을 결정하는 데 적용됩니다.
참조된 SEMI 표준 SEMI M59 — 실리콘 기술 용어
SEMI MF847 — X-Ray 기술로 단결정 실리콘 웨이퍼에서 플랫의 결정학적 방향을 측정하기 위한 표준 테스트 방법
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