SEMI HB10 - HB-LED 웨이퍼 제조용 단결정 사파이어 사양 -

Abstract

이 표준은 HB-LED 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2018년 7월 6일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2018년 10월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다.

사파이어는 HB-LED 산업에서 가장 인기 있는 기판 소재가 되었습니다. 이 문서는 HB-LED 웨이퍼 제조에 사용되는 사파이어의 주요 매개변수를 식별하고 정의합니다. 사파이어의 특성은 물리적, 화학적 매개변수와 결정 결함에 의해 결정됩니다. 사파이어의 이러한 주요 매개변수는 HB-LED 웨이퍼 제조를 위한 사파이어 재료를 지정하는 데 필요한 정보를 제공하기 위한 것입니다.

이 표준에는 사파이어의 물리적 및 화학적 매개변수와 결정 결함이 포함됩니다.

물리적 및 화학적 매개변수에는 경도, 전송 및 순도가 포함됩니다.

결정 결함에는 에치 피트 밀도(EPD), 기포, 구름, 입계, 개재물, 색상 및 크랙이 포함됩니다.

이 표준은 사파이어의 물리적 모양이나 기하학을 정의하지 않습니다. HB-LED 웨이퍼에 사용되는 단결정 사파이어 재료의 필수 매개변수만 정의합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI M36 — 낮은 전위 밀도 갈륨 비소 웨이퍼에서 에칭 피트 밀도를 측정하기 위한 테스트 방법
SEMI M40 — 광택 웨이퍼의 평면 표면 거칠기 측정 가이드

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