SEMI HB13 - HB-LED MOCVD 장비 통신 인터페이스용 서셉터 사양 -

Abstract

이 표준의 목적은 보충 HB-LED 제조에 사용되는 프로세스, 자동화 및 계측 장비의 통신 및 제어를 위한 장비 자동화 인터페이스용. 그것은 의도 서셉터를 사용할 때 웨이퍼 활동을 추적하기 위한 데이터 수집 정의 또는 웨이퍼 캐리어 .

 

이 표준은 HB-LED 제조업체와 장비 공급업체 모두에게 참고 자료로 사용됩니다.

 

HB-LED에 사용되는 서셉터 및 웨이퍼 관련 변수의 특성 및 기능에 대해 자세히 기술한 문서 SEMI HB4를 기반으로 한 제조 공정. 또한 컬렉션을 참조합니다. SEMI 및 기타 표준의 적용 방법에 대한 지침을 제공해야 합니다. 안정적이고 안정적인 HB-LED 제조 환경 구축을 위해 장비의 IT 통합을 위한 확장 가능한 통신 프레임워크.

HB-LED 장비 통신 인터페이스에 대한 이 사양은 생산에 사용되는 프로세스, 자동화 및 계측 시스템을 포함한 모든 HB-LED 제조 장비에 적용됩니다. 그러나 이러한 응용 분야에 국한되지 않습니다.

 

이 사양은 공장 자동화 시스템 내에서 장비를 통합하는 데 사용되는 통신 인터페이스에 대한 요구 사항을 정의합니다.

 

이 사양은 서셉터 및 웨이퍼에 대한 물리적 요구 사항을 정의합니다.

 

이 사양은 단일 웨이퍼 장비뿐만 아니라 배치 장비에도 적용할 수 있습니다.

 

이 표준은 통신 소프트웨어(SECS/GEM)에서 LED 서셉터 및 웨이퍼의 요구 사항을 정의하고 공식화합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)

SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델

SEMI HB4 — 고휘도 LED 제조 장비(HB-LED ECI)용 통신 인터페이스 사양

 

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