SEMI M6 - 광전지 태양 전지로 사용하기 위한 실리콘 웨이퍼 사양 -

Abstract

알림: 이 문서는 2012년 투표를 거쳐 철회 승인을 받았습니다. SEMI PV22로 대체되었습니다.

알림: 이 문서는 SEMI M6.1, SEMI M6.2, SEMI M6.3, SEMI M6.4 및 SEMI M6.5와 함께 SEMI M6의 이전 버전을 전체적으로 대체합니다.

이 사양은 광전지(PV) 태양 전지 제조에 사용되는 실리콘 웨이퍼에 대한 요구 사항을 다룹니다.

치수 특성, 결정 결함 및 일반적으로 사용되는 웨이퍼 전자 특성에 대해 설명합니다. 단결정 및 다결정의 두 종류의 결정질 실리콘 재료가 인식됩니다.

이 사양은 단결정 및 다결정의 두 가지 개별 재료 형태만 인식합니다. 단결정 형태에서는 하나의 결정학적 방향이 전체 웨이퍼를 설명하고 다결정의 경우에는 하나 이상의 결정학적 방향이 존재합니다.

SI(System International) 단위가 전체적으로 사용됩니다.

SEMI 표준 및 안전 지침 (별도 구매)

SEMI M1 — 연마된 단결정 실리콘 웨이퍼 사양

SEMI M59 — 실리콘 기술 용어

SEMI MF26 — 반도체 단결정의 배향 결정을 위한 테스트 방법

SEMI MF28 — 광전도성 감소 측정을 통한 벌크 게르마늄 및 실리콘의 소수 캐리어 수명 테스트 방법

SEMI MF42 — 외부 반도체 재료의 전도성 유형에 대한 테스트 방법

SEMI MF43 - 반도체 재료의 비저항 테스트 방법

SEMI MF84 — 인라인 4점 프로브로 실리콘 웨이퍼의 비저항을 측정하는 테스트 방법

SEMI MF391 — 정상 상태 표면 광전압 측정을 통한 외부 반도체의 소수 캐리어 확산 길이 테스트 방법

SEMI MF398 — 플라즈마 공진 최소의 파장 또는 파장 측정을 통한 반도체의 주요 캐리어 농도에 대한 테스트 방법

SEMI MF533 — 실리콘 웨이퍼의 두께 및 두께 변화에 대한 테스트 방법

SEMI MF657 — 비접촉 스캐닝으로 실리콘 웨이퍼의 휨 및 전체 두께 변화를 측정하는 테스트 방법

SEMI MF673 — 비접촉식 와전류 게이지로 반도체 웨이퍼의 비저항 또는 반도체 필름의 시트 저항을 측정하는 테스트 방법

SEMI MF1188 - 짧은 기준선으로 적외선 흡수에 의한 실리콘의 격자간 산소 함량에 대한 테스트 방법

SEMI MF1391 — 적외선 흡수에 의한 실리콘의 치환 원자 탄소 함량 테스트 방법

SEMI MF1535 — 마이크로파 반사율에 의한 광전도성 감소의 비접촉 측정에 의한 실리콘 웨이퍼의 캐리어 재결합 수명 테스트 방법

SEMI MF1619 — 브루스터 각도에서 p-편광 방사 입사를 사용한 적외선 흡수 분광법에 의한 실리콘 웨이퍼의 격자간 산소 함량 측정을 위한 테스트 방법

SEMI MF2074 — 실리콘 및 기타 반도체 웨이퍼의 직경 측정 가이드

개정 내역

SEMI M6-1108 (0712 철회, SEMI PV22로 대체)

SEMI M6-1108(기술 개정)

SEMI M6-0707(기술 개정)

SEMI M6-0307(기술 개정)

SEMI M6-1000(기술 개정판)

SEMI M6-82(최초 공개)

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