SEMI HB12 - 건식 에칭 패턴 사파이어 기판(DPSS) 사양 -

Abstract

고휘도 발광다이오드(HB-LED) 및 패턴 사파이어 기판(PSS) 산업이 급속도로 발전함에 따라 PSS 제품에 대한 표준을 확립하는 것이 매우 필요합니다. 발광 다이오드(LED) 산업을 위한 연구 개발, 생산 및 판매. PSS 산업은 전체 LED 산업의 업스트림에 속하기 때문에 건전한 표준 및 사양 시스템은 LED 산업의 다운스트림. 이 표준은 다음과 같은 용어를 지정하려고 합니다. 패턴 매개변수의 정의 및 사양(높이, 너비 등) 및 피치 등) 건식 에칭 패턴 사파이어 기판용.

자귀, 패턴 매개변수의 정의 및 사양은 건식 에칭 패턴 사파이어 기판에 대해 지정됩니다.

이 표준은 패턴 사파이어 기판에 적용됩니다. 반도체 GaN 에피택셜 발광 다이오드 생산.

참조된 SEMI 표준

없음.

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