SEMI M41 - 전력 장치/IC용 SOI(Silicon-on-Insulator) 사양 -

Abstract

이 표준은 Silicon Wafer Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2015년 2월 10일 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2015년 6월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 2000년 6월에 처음 출판되었습니다. 이전에 2013년 12월에 게시되었습니다.

이 사양은 반도체 전원 장치/IC 제조용 SOI(silicon-on-insulator)에 대한 요구 사항을 다룹니다. 검사 절차 및 승인 기준을 정의함으로써 사용자와 공급자 모두 제품 특성 및 품질 요구 사항을 정의할 수 있습니다.

이 사양은 특정 전압 애플리케이션의 전원 장치/IC에 사용되는 SOI 웨이퍼의 요구 사항을 제공합니다. 전압 범위는 저전압(40~60V), 중전압(150~250V) 및 고전압(500~600V)을 포함합니다. 이 사양은 결합된 SOI 웨이퍼와 관련된 물리적, 전기적 및 표면 매개변수를 다룹니다.

이 문서에는 본딩된 SOI 웨이퍼의 사용자와 공급업체 간에 협상해야 하는 이러한 웨이퍼 검사 목표 목록이 포함되어 있습니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI M1 — 연마된 단결정 실리콘 웨이퍼 사양
SEMI M52 — 130nm ~ 11nm 기술 세대를 위한 실리콘 웨이퍼용 스캐닝 표면 검사 시스템 지정 가이드
SEMI M53 - 패턴이 없는 반도체 웨이퍼 표면에 폴리스티렌 라텍스 구체의 인증 증착을 사용하여 스캐닝 표면 검사 시스템을 교정하기 위한 실습
SEMI M59 — 실리콘 기술 용어
SEMI M62 — 실리콘 에피택셜 웨이퍼 사양
SEMI M71 — CMOS LSI용 SOI(Silicon-on-Insulator) 웨이퍼 사양
SEMI MF26 — 반도체 단결정의 배향 결정을 위한 테스트 방법
SEMI MF42 — 외부 반도체 재료의 전도성 유형에 대한 테스트 방법
SEMI MF43 - 반도체 재료의 비저항 테스트 방법
SEMI MF81 — 실리콘 웨이퍼의 방사형 비저항 변화를 측정하기 위한 테스트 방법
SEMI MF84 — 인라인 4점 프로브로 실리콘 웨이퍼의 비저항을 측정하는 테스트 방법
SEMI M95 — 전력 소자/IC용 SOI(Silicon-on-Insulator) 사양
SEMI MF110 — 앵글 랩핑 및 염색 기법에 의한 실리콘의 에피택셜 또는 확산층 두께 테스트 방법
SEMI MF154 - 경면 실리콘 표면에서 보이는 구조 및 오염 물질 식별 가이드
SEMI MF399 — 헤테로에피택셜 또는 폴리실리콘 층의 두께에 대한 테스트 방법(철회 0710)
SEMI MF523 - 연마된 실리콘 웨이퍼 표면의 육안 검사 실습
SEMI MF533 — 실리콘 웨이퍼의 두께 및 두께 변화에 대한 테스트 방법
SEMI MF576 — 엘립소메트리에 의한 실리콘 기판의 절연체 두께 및 굴절률 측정을 위한 테스트 방법
SEMI MF671 — 실리콘 웨이퍼 및 기타 전자 재료의 평면 길이 측정을 위한 테스트 방법
SEMI MF847 — X-Ray 기술로 단결정 실리콘 웨이퍼에서 플랫의 결정학적 방향을 측정하기 위한 테스트 방법
SEMI MF928 — 원형 반도체 웨이퍼 및 경질 디스크 기판의 가장자리 윤곽에 대한 테스트 방법
SEMI MF1152 — 실리콘 웨이퍼의 노치 치수 테스트 방법
SEMI MF1153 — 커패시턴스-전압 측정에 의한 금속-산화물-실리콘(MOS) 구조의 특성화를 위한 테스트 방법
SEMI MF1188 - 짧은 기준선으로 적외선 흡수에 의한 실리콘의 격자간 원자 산소 함량에 대한 테스트 방법
SEMI MF1390 — 자동 비접촉 스캐닝으로 실리콘 웨이퍼의 휨을 측정하는 테스트 방법
SEMI MF1391 — 적외선 흡수에 의한 실리콘의 치환 원자 탄소 함량 테스트 방법
SEMI MF1527 - 실리콘의 비저항 측정을 위한 기기의 교정 및 제어를 위한 실리콘 표준 기준 물질 및 기준 웨이퍼 적용 가이드
SEMI MF1530 — 자동 비접촉 스캐닝으로 실리콘 웨이퍼의 편평도, 두께 및 두께 편차를 측정하는 테스트 방법
SEMI MF1535 — 마이크로파 반사율에 의한 광전도성 감소의 비접촉 측정에 의한 실리콘 웨이퍼의 캐리어 재결합 수명 테스트 방법
SEMI MF1617 — 2차 이온 질량 분광법으로 실리콘 및 EPI 기판의 표면 나트륨, 알루미늄, 칼륨 및 철 측정을 위한 테스트 방법
SEMI MF1619 — 브루스터 각도에서 p-편광 방사 입사를 사용한 적외선 흡수 분광법에 의한 실리콘 웨이퍼의 격자간 산소 함량 측정을 위한 테스트 방법
SEMI MF1726 — 실리콘 웨이퍼의 결정학적 완벽도 분석 실습
SEMI MF1727 - 연마된 실리콘 웨이퍼에서 산화로 인한 결함 검출을 위한 실습
SEMI MF2074 — 실리콘 및 기타 반도체 웨이퍼의 직경 측정 가이드

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