SEMI M45 - 300mm 웨이퍼 운송 시스템 사양 -

Abstract

이 표준은 Silicon Wafer Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2017년 5월 16일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2017년 8월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 제공됩니다. 원래 2001년 3월에 출판되었습니다. 이전에 게시된 2010년 11월.

이 규격은 웨이퍼 공급자로부터 고객에게 300mm 웨이퍼를 운송하는 것과 관련된 총 비용을 최소화하기 위한 운송 관련 자재 및 시스템을 규정합니다.

　

이 규격은 SEMI M31에서 규정하는 배송 상자(FOSB)를 사용하여 300mm 웨이퍼를 운송하는 것과 관련된 자재를 규정하고 있으며 웨이퍼 배송 상자, 백, 라벨, 쿠션, 2차 컨테이너, 팔레트 및 배송 문서를 포함합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI M31 — 300mm 웨이퍼 운송 및 배송에 사용되는 전면 개방 배송 상자의 기계적 사양
SEMI T3 — 웨이퍼 박스 라벨 사양

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