SEMI M29 - 300mm 배송 상자 사양 -

Abstract

이 사양은 글로벌 실리콘 웨이퍼 위원회에서 기술적으로 승인했으며 일본 실리콘 웨이퍼 위원회의 직접적인 책임입니다. 2003년 8월 8일 일본 지역 표준 위원회에서 승인된 현재 버전. 2003년 9월 www.semi.org에서 처음 사용 가능; 2003년 11월 발행 예정. 원래 1996년 12월 발행.

이 사양은 300mm 웨이퍼를 웨이퍼 제조업체에서 IC 제조업체 사이트의 수용 도크까지 안전하게 운송하기 위한 컨테이너를 정의합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트에 대한 임시 기계적 사양
SEMI E57 — 300mm 웨이퍼 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링에 대한 임시 기계적 사양

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