SEMI M24 - 광택 처리된 단결정 실리콘 프리미엄 웨이퍼 사양 -

Abstract

이 표준은 글로벌 실리콘 웨이퍼 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2006년 11월 21일에 글로벌 감사 및 리뷰 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2007년 2월에 www.semi.org에서 볼 수 있었습니다. 원래 1994년에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2005년 11월.

 

이 문서는 반도체 제조의 포토리소그래피 공정에서 입자 계수, 금속 오염 모니터링 및 패턴 분해능 측정에 사용되는 공칭 직경이 150–300mm인 순수 실리콘 프리미엄 웨이퍼에 대한 요구 사항을 지정합니다. 프리미엄 웨이퍼는 특정 용도에 대한 일부 특정 항목에서 사양 값이 더 엄격하고 프라임 웨이퍼보다 다른 항목에서 사양 값이 더 느슨하거나 동일합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI M1 — 연마된 단결정 실리콘 웨이퍼 사양
SEMI M18 — 실리콘 웨이퍼의 주문 입력을 위한 사양 양식 개발 가이드
SEMI M45 — 300mm 웨이퍼 운송 시스템용 임시 사양
SEMI M59 — 실리콘 기술 용어

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