SEMI M18 - 주문 입력을 위한 실리콘 웨이퍼 사양 양식 형식 -

Abstract

이 형식은 다음과 같이 실리콘 웨이퍼의 여러 분류를 지정하기 위한 표준 형식을 제공합니다. 에피택셜 실리콘 웨이퍼; 매립층을 갖는 에피택셜 실리콘 웨이퍼; CMOS 애플리케이션을 위한 어닐링된 실리콘 웨이퍼 및 SOI 웨이퍼. 이 형식은 EDI 메시지에서 보고되는 데이터 유형을 식별하기 위해 SEMI T6에서 사용되는 EDI(Electronic Data Interchange) 코드도 나열합니다. 이 양식은 치수, 물리적, 전기적 및 화학적 특성의 세부 사항이 정의되거나 지정된 다른 SEMI 사양과 함께 사용하도록 설계되었습니다. 그러나 양식에는 현재 SEMI 사양에 포함되지 않은 많은 항목이 포함되어 있습니다. 또한 많은 항목이 현재 일반적으로 지정되지 않지만 향후 중요성이 높아질 수 있습니다. 의도는 기술의 유연성과 확장을 제공하는 것입니다. 이 형식은 다양한 수준의 복잡성으로 실리콘 웨이퍼를 지정하고 주문할 수 있도록 합니다. 각 경우에 최소 수준의 완성도가 표시되며, 사용자의 특정 처리 요구 사항에 맞게 웨이퍼를 맞춤화할 수 있는 추가 옵션이 포함되어 있습니다. 특정 항목이 관심이 없으면 항목이 필요하지 않습니다. 유일한 필수 항목은 최소 사양(직경, 방향, 도펀트, 저항률 등) 목적으로 표시된 항목입니다. 많은 항목에 대한 값이 SEMI M1의 연마된 실리콘 웨이퍼 표준 또는 SEMI M1, SEMI M2 또는 SEMI M11의 결함 한계 표에 나열되어 있습니다. 이러한 표준 사양이 웨이퍼를 정의하는 데 충분한 경우 양식의 각 섹션에 단일 항목만 필요합니다. 이 형식은 또한 EDI 메시지에서 보고되는 매개변수를 식별하기 위해 SEMI T6에서 요구하는 코드를 나열합니다. 필요한 경우 일반화된 특성 내에 2차 특성 또는 식별자 코드가 나열됩니다. 심판의 목적으로, 2인치 및 3인치 직경의 웨이퍼에는 US Customary 단위를 사용하고 100mm 이상의 직경 웨이퍼에는 SI(System International, 일반적으로 미터법이라고 함) 단위를 사용합니다. 이 표준은 사용과 관련된 안전 문제(있는 경우)를 다루지 않습니다. 적절한 안전 및 건강 관행을 확립하고 사용 전에 규제 제한의 적용 가능성을 결정하는 것은 이 표준 사용자의 책임입니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI M1 — 연마된 단결정 실리콘 웨이퍼 사양
SEMI M2 — 이산 소자 응용 분야용 실리콘 에피택셜 웨이퍼 사양
SEMI M11 — 집적 회로(IC) 애플리케이션용 실리콘 에피택셜 웨이퍼 사양

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.