SEMI M23 - 연마된 단결정 인듐 인화물 웨이퍼 사양 -

Abstract

이 표준은 복합 반도체 재료 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2017년 6월 28일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2018년 2월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 제공됩니다. 원래 1993년에 출판되었습니다. 이전에 게시된 2011년 8월.

알림: 이 문서는 약간의 편집 변경을 거쳐 재승인되었습니다.

이 사양은 반도체 및 전자 장치 제조에 사용되는 단결정 고순도 인듐 인화물 웨이퍼의 기판 요구 사항을 다룹니다. 치수 및 결정학적 배향 특성은 아래에 설명된 유일한 표준화된 특성입니다.

완전한 구매 사양에는 추가 물리적, 전기적 및 벌크 속성을 정의해야 할 수 있습니다. 이러한 속성은 해당 절차가 문서화되어 있는 크기를 결정하는 데 적합한 테스트 방법과 함께 나열됩니다.

이러한 사양은 특히 한면 또는 양면이 연마된 인듐 인화물 웨이퍼에 적용됩니다. 연마되지 않은 웨이퍼 또는 에피택셜 필름이 있는 웨이퍼는 포함되지 않습니다. 그러나 이러한 웨이퍼 구매자는 이러한 사양이 요구 사항을 정의하는 데 도움이 될 수 있습니다.

재료는 입방체 아연 혼합 구조를 갖는 단결정 인듐 인화물(InP)이며 다음과 같은 특성을 갖습니다.

밀도	4.787g/cm3
녹는 점	1062°C
유전 상수	12.4
격자 매개변수	27°C에서 5.869A
에너지 갭	27°C에서 1.351eV

참조 목적으로 SI(System International, 일반적으로 미터법이라고 함) 단위가 사용됩니다.

하위 표준:

SEMI M23.1-0211(재승인 0218) — 원형 50mm 직경 연마 단결정 인듐 인화물 웨이퍼에 대한 사양

SEMI M23.2-0211(재승인 0218) — 원형 3인치(76.2mm) 직경 연마 단결정 인듐 인화물 규격 Wafers

SEMI M23.3-0600(철회 0811) — 직사각형 광택 단결정 인듐 인화물 웨이퍼 사양

SEMI M23.4-0211(재승인 0218) — 전자 및 광전자 장치 응용 분야를 위한 원형 100mm 광택 단결정 인듐 인화물 웨이퍼 사양(도브- 꼬리 유형)

SEMI M23.5-0211(재승인 0218) — 전자 및 광전자 장치 응용 분야를 위한 원형 100mm 연마 단결정 인듐 인화물 웨이퍼 사양(V-Groove 옵션)

SEMI M23.6-0703(재승인 0218) — 원형 150mm 광택 단결정 인듐 인화물 웨이퍼(노치) 사양

참조된 SEMI 표준

SEMI M39 — 비절연 GaAs 단결정의 비저항 및 홀 계수 측정 및 홀 이동도 결정을 위한 테스트 방법
SEMI M59 — 실리콘 기술 용어
SEMI MF26 — 반도체 단결정의 배향 결정을 위한 테스트 방법
SEMI MF42 — 외부 반도체 재료의 전도도 유형 테스트 방법
SEMI MF84 — 인라인 4점 프로브로 실리콘 웨이퍼의 비저항을 측정하는 테스트 방법
SEMI MF154 - 경면 실리콘 표면에서 보이는 구조 및 오염 물질 식별 가이드
SEMI MF523 - 연마된 실리콘 웨이퍼 표면의 육안 검사 실습
SEMI MF533 — 실리콘 웨이퍼의 두께 및 두께 변화에 대한 테스트 방법
SEMI MF534 — 실리콘 웨이퍼의 휨에 대한 테스트 방법(철회 0115)
SEMI MF657 — 비접촉 스캐닝으로 실리콘 웨이퍼의 휨 및 총 두께 변화를 측정하기 위한 테스트 방법(0914 철회)
SEMI MF671 — 실리콘 웨이퍼 및 기타 전자 재료의 평면 길이 측정을 위한 테스트 방법
SEMI MF673 — 비접촉식 와전류 게이지로 반도체 웨이퍼의 비저항 또는 반도체 필름의 시트 저항을 측정하는 테스트 방법
SEMI MF928 — 원형 반도체 웨이퍼 및 경질 디스크 기판의 가장자리 윤곽에 대한 테스트 방법
SEMI MF1392 — 수은 프로브를 사용한 커패시턴스-전압 측정을 통해 실리콘 웨이퍼의 순 캐리어 밀도 프로파일을 결정하는 테스트 방법
SEMI MF1393 — 수은 프로브를 사용한 밀러 피드백 프로파일러 측정으로 실리콘 웨이퍼의 순 캐리어 밀도를 결정하기 위한 테스트 방법(1105 철회)
SEMI MF2074 — 실리콘 및 기타 반도체 웨이퍼의 직경 측정 가이드
SEMI T5 — 원형 복합 반도체 웨이퍼의 영숫자 마킹 사양

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