SEMI M14 - 반 절연 갈륨 비소 단결정의 이온 주입 및 활성화 공정 사양 -

Name: M01400 - SEMI M14 - 반 절연 갈륨 비소 단결정의 이온 주입 및 활성화 공정 사양
Brand: semi.org
SKU: 9501
Price: 239000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩113

Non-Member Price: ₩239,000

Volume(s): Materials
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI M14-89 - 비활성

품목 옵션

Abstract

이 문서의 목적은 반절연 GaAs의 다양한 로트 간에 의미 있는 비교가 이루어질 수 있도록 생성된 층의 이온 주입, 활성화 및 측정 프로세스를 제시하는 것입니다. 이 테스트는 제품이 표준 방식으로 표시될 수 있도록 공급자가 수행합니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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SEMI M14 - 반 절연 갈륨 비소 단결정의 이온 주입 및 활성화 공정 사양 -

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