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SEMI M12 - 웨이퍼 전면의 일련의 영숫자 마킹 사양 -
Abstract
이 사양은 실리콘 또는 기타 반도체 웨이퍼의 일련의 영숫자 표시를 제공합니다. 웨이퍼 일련 번호는 웨이퍼 및 장치 제조 중 추적 및 제어를 위해 적절한 데이터베이스 시스템에 저장된 웨이퍼의 속성을 각 개별 웨이퍼에 연결합니다.
마크에 사용되는 기본 코드를 정의함으로써 이 사양은 웨이퍼 제조업체가 수행하는 웨이퍼 마킹의 일관성을 보장합니다. 따라서 자동 광학 문자 판독(OCR) 장비의 성능 요구 사항을 단순화할 수 있고, 웨이퍼 처리 없이 도움 없이 즉각적인 사람 판독 가능성을 제공하며, 웨이퍼 수준 공정 변동의 해결을 용이하게 합니다.
마킹 코드는 광범위한 웨이퍼 제품(즉, epi, SOI, 가공된 연마 웨이퍼 등)에 유효하도록 의도되었습니다.
이 사양은 특히 평평하고 노치가 있는 실리콘 웨이퍼의 일련 식별을 위해 영숫자 코드의 기하학적 및 공간적 제한을 정의합니다.
이 사양은 이 표준을 준수할 때 사용할 수 있는 표시 기술을 다루지 않습니다.
참조 SEMI 표준 (별도 구매)
SEMI M13 — 실리콘 웨이퍼의 영숫자 마킹 사양
개정 내역
SEMI M12-0706(재승인 0318)
SEMI M12-0706 (재승인 1011)
SEMI M12-0706(기술 개정)
SEMI M12-1103(기술 개정)
SEMI M12-0303(기술 개정)
SEMI M12-0998E(편집 개정)
SEMI M12-0998(기술 개정)
SEMI M12-92(기술 개정판)
SEMI M12-89(기술 개정판)
SEMI M12-88(최초 공개)
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