SEMI M13 - 실리콘 웨이퍼의 영숫자 마킹 사양 -

Abstract

이 표준은 Traceability Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2017년 8월 18일 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2018년 3월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1998년에 출판되었습니다. 이전에 2011년 10월에 게시되었습니다.

이 사양은 실리콘 웨이퍼용 영숫자 마킹 시스템을 설명합니다. 마킹 코드에는 웨이퍼 식별 번호 외에도 기원, 대략적인 저항률, 도펀트 종 및 결정 성장 방향에 대한 정보가 포함됩니다. 이 사양을 사용하면 실리콘 제조업체가 수행하는 모든 웨이퍼 마킹의 일관성이 보장됩니다. 이러한 일관성을 통해 자동 광학 문자 판독(OCR) 장비의 성능 요구 사항을 단순화할 수 있습니다.

개별 웨이퍼를 특성화하는 데 사용되는 기본 코드를 정의함으로써 이 사양은 실제 작업자 해석에 필요한 정보를 제공합니다.

이 사양은 특히 플랫 및 노치 실리콘 웨이퍼 식별을 위한 문자 집합, 위치, 관련 치수 및 영숫자 코드의 허용 오차를 정의합니다.

이 사양은 이 표준을 준수할 때 사용할 수 있는 표시 기술을 다루지 않습니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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