SEMI M26 - 웨이퍼 운송에 사용되는 100, 125, 150 및 200mm 웨이퍼 배송 상자 재사용 가이드 -

Abstract

이 가이드는 글로벌 실리콘 웨이퍼 위원회의 기술 승인을 받았으며 일본 실리콘 웨이퍼 위원회의 직접적인 책임입니다. 2004년 1월 9일 일본 지역 표준 위원회에서 승인된 현재 버전. 2004년 2월 www.semi.org에서 처음 사용 가능; 2004년 3월 예정. 최초 발행일은 1995년. 1996년에 마지막으로 출판되었습니다.

이 문서는 100mm, 125mm, 150mm 및 200mm 웨이퍼 배송 상자의 재사용을 위한 상자 청소 서비스, 웨이퍼 공급업체 및 웨이퍼 사용자를 위한 안내서입니다. 그 목적은 웨이퍼 공급업체에서 고객에게 100, 125, 150 및 200mm 웨이퍼를 운송하는 것과 관련된 총 비용을 줄이는 것입니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI M31 — 300mm 웨이퍼 운송 및 배송에 사용되는 전면 개방 배송 상자의 임시 기계적 사양
SEMI M45 — 300mm 배송 시스템용 임시 사양

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