SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

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E04600 - SEMI E46 - イオン移動度分光計(IMS)を使用したミニエンバイロメントからの有機汚染分析の試験方法
E04700 - SEMI E47 - 150mm/200mm用ポッドハンドルの仕様
SEMI E47 - 150mm/200mm用ポッドハンドルの仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E04700 - SEMI E47 - 150 mm/200 mm ポッド ハンドルの仕様
SEMI E47 - 150 mm/200 mm ポッド ハンドルの仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E04701 - SEMI E47.1 - 300 mmウェーハ搬送および保管用FOUPの機械仕様
SEMI E47.1 - 300 mmウェーハ搬送および保管用FOUPの機械仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E04701 - SEMI E47.1 - 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用される FOUPS の機械仕様
E04800 - SEMI E48 - SMIFインデクサ用空間のための仕様
SEMI E48 - SMIFインデクサ用空間のための仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E04800 - SEMI E48 - SMIF インデクサーのボリューム要件の仕様
SEMI E48 - SMIF インデクサーのボリューム要件の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E04900 - SEMI E49 - 高純度および超高純度の配管性能、サブアセンブリ、および最終アセンブリに関するガイド
E04900 - SEMI E49 - 高純度および超高純度配管システムの性能,サブプロセス,最終組立のためのガイド
E05100 - SEMI E51 - 典型的な施設サービスと終了マトリックスのガイド
SEMI E51 - 典型的な施設サービスと終了マトリックスのガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E05200 - SEMI E52 - デジタルマスフローコントローラーで使用されるガス、ガス混合物、および蒸発性材料を参照するための実践
E05200 - SEMI E52 - デジタルマスフローコントローラで使用されるガス,ガス混合物および気化して使用する材料の参照表
E05300 - SEMI E53 - イベントレポート
SEMI E53 - イベントレポート セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E05300 - SEMI E53 - イベントレポート
SEMI E53 - イベントレポート セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E05400 - SEMI E54 - センサー/アクチュエーター ネットワークの仕様
SEMI E54 - センサー/アクチュエーター ネットワークの仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
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