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SEMI E47 - 150 mm/200 mm ポッド ハンドルの仕様 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意:この規格または安全ガイドラインには無効な機能があります。 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、ステータス。 非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。 使用が有効であること。
この仕様は、統一された形式と場所を提供します。 ポッド ハンドルを使用してポッドの自動処理を有効にします。
この仕様は、次の寸法と位置を定義します。 150 mm/200 mm ポッドのハンドル。これらは自動処理を提供し、 手動での取り扱いを考慮してください。個別の手動ハンドルのデザインはオープンです 規格の寸法制限内で達成される必要があります。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E19.3 — 150 mm 標準メカニカル インターフェイス (SMIF)
SEMI E19.4 — 200 mm 標準メカニカル インターフェイス (SMIF)
SEMI E47.1 — ボックスおよびポッドの機械仕様 300 mm ウェーハの輸送と保管に使用
SEMI T4 — 150 mm および 200 mm ポッドの仕様 識別寸法
改訂履歴
SEMI E47-0301 (再承認 0512)
SEMI E47-0301 (再承認 1106)
SEMI E47-0301 (技術改訂)
SEMI E47-95 (再承認 1000)
SEMI E47-95 (初公開)
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