Japan Store
SEMI E51 - 典型的な施設サービスと終了マトリックスのガイド -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
/
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
このガイドは世界的な施設委員会によって技術的に承認されており、北米施設委員会が直接責任を負います。最新版は、1999 年 12 月 15 日に北米地域標準委員会によって承認されました。最初は 2000 年 1 月に www.semi.org で入手可能になりました。 2000 年 2 月に出版予定。初版は 1995 年。以前は 1998 年 2 月に出版されました。
このガイドの目的は、既存の顧客施設、システム、およびサービスへの影響を最小限に抑えながら、タイムリーかつコスト効率の高いツールの導入を確実にし、供給される施設 (水、ガス、化学薬品、電気など) の品質を保証することです。ツールの内部にあると侵害されることはありません。このガイドは、機器サプライヤーに、「一般的な」顧客サイトの接続点 (POC) で利用可能な設備を理解させるためのものです。ツールメーカーがツールの設計時にこれらの典型的な設備サービスを考慮すると、各ツールの設置のカスタマイズに関連する追加コストとリードタイムを最小限に抑えることができ、その結果、半導体装置の構築と設置のコストが削減されます。
参照されるSEMI規格SEMI E6 — ファシリティ・インターフェース仕様のガイドラインとフォーマット
SEMI E7 — 米国専用の電気インターフェース仕様
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E33 — 半導体製造施設の電磁両立性に関する仕様
SEMI E49 — 高純度配管システムの標準性能、実践方法、サブアセンブリおよび半導体製造装置の最終アセンブリに関するガイド
SEMI F47 — 半導体処理装置の電圧低下耐性の仕様
 |
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
0件