SEMI E48 - SMIFインデクサ用空間のための仕様 -

Abstract

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本仕様は、Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committeeで技術的に承認されたもので、European Equipment Automation Committeeが直接責任を負うものである。現版は2001年4月24日にEuropean Regional Standards Committeeにて承認された。2001年8月にまずwww.semi.orgで入手可能となり、2001年11月発行に至る。初版は1995年発行、前版は2001年7月発行。

本仕様の目的は、単一もしくは多数のポートを持ったツールに、SMIFの統合を可能にするために、ツール内に必要とする空間を用意することである。

本仕様は、インタフェース面に関してツール内に必要なスペースを定義する。

SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E19 — 標準メカニカルインターフェース (SMIF)

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