SEMI E53 - イベントレポート -

Abstract

本基準は、Global Information and Control Committeeで技術的に承認されたものでJapanese Information and Control Committeeが直接責任を負うものである。現版は2004年4月30日にJapanese Regional Standard Committeeにて承認されている2004年6月にまずwww.semi.orgで入手可能となり、2004年7月発行に至る。初版は1996年12月に発行された。

装置でのプロセスデータへのアクセスは，半導体製造施設で効率的にプロセスモニタリングとコントロールを行う際には非常に重要なことである。現在の通信の必要性について、タイムリーなデータ収集およびレポートという観点から読んでいます。

この標準の目的は、装置供給ヤが提供する汎用的なイベントレポートサービスのセットを用意することである。これより高いレベルのアプリケーション領域を扱っている別の標準が本書全体あるいは一部を参照する場合がある。

ここで定義されている通信サービスにより，基準を基本とした，独立システムの相互運用が可能になる。このサービスを提供するソフトウェア製品の開発が可能になります。

この基準は、あらゆる独立型装置、クラスタモジュール、クラスタツール、工場でのオートメーションセルに適用可能である。

この標準では有意義な通信とコンピュータ用リソースが必要とされる。 そのため、装置内の I/O分布（例えばセンサーバス）のレベル以下には適用されない。

このスタンダードは定期的なデータレポートおよびイベントへの応答レポートをカバーしている。

この標準はコンセプトおよび挙動からメッセージサービスまでの解決策を提案している。

メッセージ送受信サービスには，メッセージが交換されることを知っており，そのメッセージに含まれているデータの定義を示す。どのように交換するか、ということは含まれていません。この追加情報はメッセージ規約に従っています。定義されたサービスは複数のプロトコルに適用することができる。 -II ）に検討することについての情報は、付属基準に書き込まれている。

サービスは、ユーザとサービスのプロバイダーとの間信頼できる接続が確立されている環境を前提としている。通信の確立、維持、開放はこの標準の範囲外である。

下位文書:

SEMI E53.1-0704 -イベントレポートスタンダードへのSECS- Ⅱのサポート

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E30 — SEMI 機器の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E38 — クラスターツールモジュール通信 (CTMC)
SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E39.1 — オブジェクト サービス標準 (OSS) の SECS-II プロトコル
SEMI E40 — 処理管理の標準

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