SEMI E54 - センサー/アクチュエーター ネットワークの仕様 -

Abstract

この規格は、情報および制御グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2015 年 12 月 4 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2016 年 3 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1997 年に出版されました。以前は 2013 年 4 月に出版されました。

注意: 以前に SEMI E54 (センサー/アクチュエータ ネットワーク共通デバイス モデルの規格) として指定されていた規格は、SEMI E54.1 として再指定されました。センサー/アクチュエーター ネットワーク規格が親文書であるため、SEMI E54 として指定されています。

この仕様は、SEMI のセンサー/アクチュエーター ネットワーク (SAN) 規格の構造を提供します。これは、SEMI SAN 規格に準拠したセンサー/アクチュエーター デバイスに関する相互運用性の定義を提供します。

この規格は、機器の制御システムの一部としてネットワーク上でデバイスがどのように相互運用するかを規定します。

この仕様は SAN 標準のルートであり、SEMI SAN 標準のコンポーネントである他の各仕様の関係を定義します。

下位文書:

SEMI E54.1-0316 - センサー/アクチュエーターネットワーク共通デバイスモデルの仕様

SEMI E54.2-0316 - センサー/アクチュエーター ネットワーク (SAN) レター投票用紙作成ガイド

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E30 — SEMI 機器の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E148 — 時刻同期の仕様と TS-Clock オブジェクトの定義

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