SEMI E47.1 - 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用される FOUPS の機械仕様 -

Abstract

注意:この規格または安全ガイドラインには無効な機能があります。 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、ステータス。 非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。 使用が有効であること。

この規格は、以下の用途に使用される FOUP を部分的に規定しています。 IC 製造施設内で 300 mm ウェーハを輸送および保管します。

この基準は、適切なレベルを設定することを目的としています。 イノベーションを最小限に抑えながらも、 すべての機械的インターフェースにおけるモジュール性と互換性。ほとんど この仕様に記載されている要件は、最大値または最小値の形式です。 必要な表面がほとんどない寸法。物理インターフェースのみ（その他 ドア機構やキネマティックカップリングよりも) FOUP 用が指定されています。いいえ 材料要件または微小汚染の制限が与えられます。エンクロージャ この規格で指定されている環境は密閉されたミニ環境である可能性がありますが、 明確に定義されたインターフェイスを備えたボックスである必要があります。

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI E1.9 — 使用されるカセットの機械的仕様 300 mm ウェーハの輸送と保管

SEMI E15 — ツールロードポートの仕様

SEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様

SEMI E19 — 標準メカニカルインターフェース (SMIF)

SEMI E47 — 150 mm/200 mm ポッド ハンドルの仕様

SEMI E57 — キネマティックカップリングの機械的仕様 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせとサポートに使用

SEMI E62 — 300 mm フロントオープンインターフェイスの仕様 機械規格 (FIMS)

SEMI S8 — 人間工学工学の安全ガイドライン 半導体製造装置

改訂履歴

SEMI E47.1-1106 (再承認 0512)

SEMI E47.1-1106 (技術改訂)

SEMI E47.1-0706 (技術改訂)

SEMI E47.1-0306 (技術改訂)

SEMI E47.1-0305 (技術改訂)

SEMI E47.1-1104 (技術改訂)

SEMI E47.1-0704 (技術改訂)

SEMI E47.1-0304 (技術改訂)

SEMI E47.1-0303 (技術改訂)

SEMI E47.1-1101 (技術改訂)

SEMI E47.1-0701 (技術改訂)

SEMI E47.1-0301 (技術改訂)

SEMI E47.1-0200 (技術改訂)

SEMI E47.1-0999 (技術改訂)

SEMI E47.1-0699 (技術改訂)

SEMI E47.1-0298 (技術改訂)

SEMI E47.1-0697 (初公開)

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