SEMI E49 - 高純度および超高純度の配管性能、サブアセンブリ、および最終アセンブリに関するガイド -

Abstract

この概要文書の目的は、基本的な事項を提供することです。 SEMI E49.2、SEMI E49.4、SEMI E49.5、 SEMI E49.6、SEMI E49.7、SEMI E49.8、およびSEMI E137。

この文書には、使用される用語と参考文書が含まれています SEMI E49.2、SEMI E49.4、SEMI E49.5、SEMI E49.6、SEMI E49.7、SEMI E49.8および SEMI E137、性能および方法の規格を参照します。 推奨される実践方法。

SEMI E49 下位文書はタイプ別に編成されています 配管分配システムの種類: ガス、DI/化学薬品、溶剤、および種類別 組立および試験手順: ステンレス鋼のサブアセンブリ、サブアセンブリ ポリマーと最終ツールのアセンブリ用。最終アセンブリをテストする必要があります。 すべての適切なパラメータ (純度、完全性、失敗など) について検証される レート)、該当する SEMI E49 下位文書に指定されている通り。

配管配布文書 (SEMI E49.2 ～ SEMI E49.8) システム設計、性能、材料、コンポーネントに関するガイドラインが含まれます。 3種類のそれぞれの純度および性能グレードが記載されています。 流通システム。

ユーザーはツール全体の所有コストを完了する必要があります HP または UHP ツールの最適なアプリケーションを決定するための分析 (SEMI E35 を参照) 特徴。重要なパラメータには、設備コストと設置サイクルを含める必要があります。 時間、配管システムの信頼性と保守性の要素、ツールとサブシステム 汚染への寄与と、その結果生じるウェーハ品質およびウェーハへの影響 スループット係数。

最終アセンブリは次に従って評価する必要があります。 環境、健康、安全（EH&S）問題に関するSEMI S2の基準 それらの使用に関連しています。

下位標準（付属）

SEMI E49.2 — ポリマーの認定ガイド 半導体の超純水および液体化学システムで使用されるアセンブリ プロセス装置

SEMI E49.4 — 超高純度溶媒のガイド 半導体製造における金属流路を備えた分配システム 装置

SEMI E49.5 — 超高純度設計ガイド 半導体における非金属流体経路を備えた溶媒分配システム 製造設備

SEMI E49.6 — サブシステムの組み立てとテストのガイド 手順 – ステンレス鋼システム

SEMI E49.7 — ポリマーの設計および製造のためのガイド 半導体装置の液体化学システムに使用されるアセンブリ

SEMI E49.8 — 高純度および超高純度ガスのガイド 半導体製造装置の配電システム

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI E35 — 所有コスト (COO) の計算ガイド 半導体製造装置の指標

SEMI E137 — 最終組み立て、パッケージング、 半導体製造の輸送、開梱、移転 装置

SEMI S2 — 環境、健康、安全に関するガイドライン 半導体製造装置

改訂履歴

SEMI E49-0617 (指定の更新)

SEMI E49-1104 (再承認 1211)

SEMI E49-1104 (技術改訂)

SEMI E49-0304 (指定の更新)

SEMI E49-1103 (指定の更新)

SEMI E49-0702 (技術改訂)

SEMI E49-95 (初公開)

SEMI E49.1-1104 (SEMI E137に置き換えられました)

SEMI E49.1-0304 (技術改訂)

SEMI E49.1-95 (初公開)

SEMI E49.2-0617 (完全な書き換え)

SEMI E49.2-1104 (技術改訂)

SEMI E49.2-0298 (技術改訂)

SEMI E49.2-95 (初公開)

SEMI E49.3-0298 (廃止 1104) (SEMI E49.2 に置き換え)

SEMI E49.3-0298 (技術改訂)

SEMI E49.3-95 (初公開)

SEMI E49.4-0419 (完全な書き換え)

SEMI E49.4-0298 (技術改訂)

SEMI E49.4-95 (初公開)

SEMI E49.5-0419 (完全な書き換え)

SEMI E49.5-1104 (技術改訂)

SEMI E49.5-0298 (技術改訂)

SEMI E49.5-95 (初公開)

SEMI E49.6-1103 (再承認 1211)

SEMI E49.6-1103 (技術改訂)

SEMI E49.6-95 (初公開)

SEMI E49.7-0419 (完全な書き換え)

SEMI E49.7-0304E (編集改訂)

SEMI E49.7-0304 (技術改訂)

SEMI E49.7-0702 (技術改訂)

SEMI E49.7-95 (初公開)

SEMI E49.8-1103 (再承認 1211)

SEMI E49.8-1103 (技術改訂)

SEMI E49.8-0298 (技術改訂)

SEMI E49.8-96 (初公開)

SEMI E49.9-0298 (撤回 0303)

SEMI E49.9-0298 (技術改訂)

SEMI E49.9-96 (初公開)

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