SEMI E47.1 - 300 mmウェーハ搬送および保管用FOUPの機械仕様 -

Abstract

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免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本基準は、Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2012年12月24日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年5月にwww. semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1997年発行。前版は2006年11月発行。

注意： 本書は、編集上の修正を伴い、再承認されました。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

本基準は、IC製造工場において300mm径ウェーハの搬送および保管に使用されるFOUPを、一部規定する。

本標準が意図しているのは、すべてのメカニカルインターフェースにてそこで、モジュール性と互換性を確保しながら、技術革新を考慮しない最小レベルの仕様を決定することである。要求事項は，最大および最小の寸法という形をとっており，（ドアメカニズムやキネマティックカプリングを除く）表面仕様が要求されることはほとんどありません。 FOUPに対する物理的なインターフェースだけが規定されています，材料本基準に規定された容器は、遮断されたミニエンバイロメント用途を意図しているが、慎重うまく設計された自動化インターフェースを伴ったボックスであるとの解釈でも構わない。

FOUPは次の構成部分と付加構造となる（カッコ内は個数を示す）。

凡例：

• 要求される構造

• オプション構造

• トップ

• トップハンドリングフランジ
• トップハンドリングフランジ上の中心穴

• トップハンドリングフランジ上のキネマティック溝（オプション） (3)

• 内側

• ウェーハ13枚または25枚用カセット
• ウェーハを固定する機構
• エンドエフェクタ排除領域

• 側面

• サイドフォークリフトフランジ（オプション） (2)
• 人間工学的に設計された手動操作用ハンドル（オプション）

• ドア

• FOUPからドアをアンラッチしたとき，FIMSにドア部をラッチするためのラッチキーホール
• レジストレーションピンホール
• ドアプレゼンスセンシング領域

• 底部

• ボトムクーラーレール（ 4番目のレールと同様に機能するフロントシール領域の底部に付いていたもの，およびFOUPのオプションの後方のレールを付けていたもの） (4)
• フォークリフトピンホール(2)
• キャリアセンシングパッド(5)
• 中央のサポート機構（センターリテイニングフィーチャ）
• 前方のサポート機構（フロントライトイニングフィーチャ）
• インフォパッド(4)
• アドバンシングFOUPセンシングパッド(2)
• キネマティックカプリングピンと結合し10mmのリードイン（自動要求心）を確保する機構(3)

• キネマティックカプリングピンと結合し15mmのリードイン（自動要求心）を確保する機構（オプション） (3)
• フロントカバー表面

• 背面

• RFID タグ設置領域

SEMI E1.9 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様
SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様
SEMI E19 — 標準メカニカルインターフェース (SMIF)
SEMI E47 — 150 mm/200 mm ポッド ハンドルの仕様
SEMI E57 — 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせと支持に使用されるキネマティックカップリングの機械仕様
SEMI E62 — 300 mm フロントオープニング インターフェース機械規格 (FIMS) の仕様
SEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学工学に関する安全ガイドライン

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