SEMI E47 - 150mm/200mm用ポッドハンドルの仕様 -

Abstract

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免責事項：　

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本基準は、Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年12月24日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年5月にwww. semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1995年発行。前版は2006年11月発行。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

本仕様は、自動ポッド操作を可能にするポッドハンドルのための一体構造および構成を規定するものである。

本仕様は、150mm/200mmのポッドについて、ハンドルの寸法と配置を決定する。 これらは、自動操作であるが、手動操作も行っている。的な制限内で完了させることは自由である。

SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E19.3 — 150 mm 標準メカニカル インターフェイス (SMIF)
SEMI E19.4 — 200 mm 標準メカニカル インターフェイス (SMIF)
SEMI E47.1 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるボックスおよびポッドの機械仕様
SEMI T4 — 150 mm および 200 mm ポッドの識別寸法の仕様

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