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SEMI E52 - デジタルマスフローコントローラーで使用されるガス、ガス混合物、および蒸発性材料を参照するための実践 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2014 年 5 月 12 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2014 年 7 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1995 年に出版されました。以前は 2013 年 12 月に出版されました。
注意: この文書はグローバル技術委員会によるサポートを終了しました。 SEMI AUX030に置き換えられました。
半導体産業で使用されるガスおよびガス混合物の数値インデックスを提供し、マスフローデバイスで使用される場合に、ガスおよびガス混合物に順序付けられた参照を提供します。このインデックスまたはリストは、デジタル質量流量装置の製造と使用を容易にします。
このリストには、マスフローデバイスで使用できるガス、ガス混合物、蒸発性材料が含まれています。このリストは、既存の DOT/OSHA またはその他の識別システムを置き換えるものではなく、補足するものです。使いやすさを考慮して、リストはガスコード、ガス名、ガスおよび蒸発性物質の記号ごとに、またガス混合物についてはコードと混合割合ごとに分類されて表示されます。
参照されるSEMI規格なし。
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