SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

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F05200 - SEMI F52 - 半導体およびフラットパネルディスプレイ製造用のメートル法 PFA チューブの寸法仕様
F05200 - SEMI F52 - 半導体及びFPD製造の薬液供給システム用メトリックPFAチューブの寸法仕様
F05300 - SEMI F53 - サーマルマスフローコントローラーの電磁感受性を評価するための試験方法
F05300 - SEMI F53 - サーマル・マスフローアレイの電磁感受性評価の試験方法
SEMI F53 - サーマル・マスフローアレイの電磁感受性評価の試験方法 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
F05400 - SEMI F54 - 凝縮核計数器の計数効率を測定するための試験方法
SEMI F54 - 凝縮核計数器の計数効率を測定するための試験方法 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,800
F05500 - SEMI F55 - マスフローコントローラーの耐食性を決定するための試験方法
F05500 - SEMI F55 - マスフローコールの耐腐食性を求めるための試験方法
SEMI F55 - マスフローコールの耐腐食性を求めるための試験方法 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
F05600 - SEMI F56 - マスフローコントローラーの定常状態電源電圧の影響を測定するための試験方法
F05600 - SEMI F56 - マスフローコンソールの定常供給電圧の影響を測定するための試験方法
F05700 - SEMI F57 - 超純水および液体化学薬品供給システムで使用される高純度ポリマー材料およびコンポーネントの仕様
F05700 - SEMI F57 - 超純水および薬液供給システム内に使用するポリマー製材料および部品の仕様
F05800 - SEMI F58 - 大気圧イオン化質量分析法 (APIMS) による表面実装型および従来のガス供給システムの水分ドライダウン特性を測定するための試験方法
F05800 - SEMI F58 - 大気圧イオン化質量分析計(APIMS)による表面実装および一般的なガス供給システムの水分ドライダウン特性測定のための試験方法
F05900 - SEMI F59 - フィルターまたはガスシステムの流れの圧力降下曲線を決定するための試験方法
F06000 - SEMI F60 - 不動態化された 316L ステンレス鋼部品の接液面の表面組成の ESCA 評価の試験方法
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