
SEMI F53 - サーマル・マスフローアレイの電磁感受性評価の試験方法 -
Abstract
本基準は、global Gases Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2011年12月24日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 およびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2000年7月発行。前版は2007年3月発行。
注意: この文書は、編集上の修正を行い、再承認されました。
本書の目的は、サーマル・マスフローコントローラーの電磁感受性の評価および試験のための体系の方法を決定することである。
本書は、サーマル・マスフローコントローラーがその産業に特有のEMIレベルに置かれた時、機能特性を維持するかどうか評価するために使用することができることが要求事項および試験方法を考える。 は、コントローラーがEMIに暴露されたときの輻射感受性( RS ) および伝導感受性( CS )の両方を指す。方法はMIL-STD 462に定められているRS03 、 CS01 、 CS02およびCS06試験方法の考察である。
参照されるSEMI規格なし。
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F05300 - SEMI F53 - サーマル・マスフローアレイの電磁感受性評価の試験方法
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