SEMI F57 - 超純水および薬液供給システム内に使用するポリマー製材料および部品の仕様 -

本書の要求条件は、UPWを使用し温度を上昇させた状態での材料および部品の試験に焦点を当てているが、本書のユーザーが検討する可能性のある知覚剤、酸化剤等の化学薬品ただし、考えられるすべての接液薬液に対する考え方な数の試験パラメータを定義することは，本書の範囲外である。 を使用した試験，またはその他の温度条件での試験を行う可能性や，また，本書内の要求条件とは独立した独自の内部制限を避ける可能性を排除または制限することを意図したものではない。

本仕様書は，ポリマー材料およびポリマー製部品の性能および評価焦点を当てている。概要の一覧は以下のとおりである。

適合性の定量的な寸法

• 粒子クル発生最大
• 金属発生限界
• イオン発生最大値
• 全有機（易酸化性）炭素発生限界
• 表面粗さ寸法

適合性の安定性の寸法

• 機械特性
• 物理的特性
• 耐薬品性
• 信頼性
• トレーサビリティ要求条件
• パッケージング要求条件
• 証明

• 超純水（ UPW ）
• 酸、 塩基および酸化剤
• 水溶性塩溶液
• 有機溶媒

本書で規定されている要求条件を満たすポリマー材料および配管システムの部品は、¶ 1.3 で検討UPW およびLCDS に適合するよう考慮されなければなりません。

別々に購入しない限り，Oリング，ケットガスおよびダイアフラムのような小さな部品から造られたポリマー製部品は，個々の小さな部品としてではなく，機能部品単位で本書の要求条件を満足しなければならない。 ，ユニオン継手の一部となっているO リングは，その品質を低下させないように，本書の要求条件を満たしていなくてもよい。代替するスペアパーツや部品は、適用可能な場合、本基準に適合すべきである。

本書内で参照されている浸出テストとこれに関連する要求する条件は、静的な状態での数値を提供する。

本書およびまま関連テストは、供給されたの状態におけるポリマー製部品に対する接液部の性能の要求条件を規定し、ポリマー製部品メーカーの記録上、現状のプロセスが反映される。

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