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SEMI F52 - 半導体およびフラットパネルディスプレイ製造用のメートル法 PFA チューブの寸法仕様 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この仕様は世界液体化学薬品分配システム委員会によって技術的に承認されており、日本の液体化学薬品分配システム委員会が直接責任を負っています。最新版は、2001 年 6 月 19 日に日本の地域標準委員会によって承認されました。最初は 2001 年 8 月に www.semi.org で入手可能でした。 2001 年 11 月に出版予定。初版は 2000 年 6 月に出版されました。
注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。
この文書は、半導体およびフラット パネル ディスプレイの製造装置および設備における薬液分配用のメートル法テトラフルオロエチレン パーフルオロアルキルビニル エーテル コポリマー (PFA) チューブのサイズとその測定方法を定義します。
この文書は、PFA で作られたメートル管に適用されます。
参照されるSEMI規格なし。
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