SEMI F52 - 半導体及びFPD製造の薬液供給システム用メトリックPFAチューブの寸法仕様 -

Abstract

注意: この翻訳は参考コピーのみです。英語版と他の言語の翻訳との間に差異がある場合、英語版が正式かつ正式なバージョンとなります。

免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本仕様は、Global Liquid Chemical Distribution Systems Committeeで技術的に承認されたもので、日本地区ケミカルシステム委員会が直接責任を負うものである。現版は2000年1月14日に日本地区スタンダート委員会にて承認された。2001年8月にまずwww.semi.orgで入手可能となり、2001年11月発行に続く。初版は2000年6月発行。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

本書では、半導体及びＦＰＤ製造の製造装置及び設備における薬液供給用メトリックＰＦＡチューブのサイズ及び測定方法を規定する。

本書はPFAで作られたメトリックサイズのチューブに適用される。

なし。

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.