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SEMI F56 - マスフローコンソールの定常供給電圧の影響を測定するための試験方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2011年12 月24日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 およびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2000年3月発行。前版は2007年3月発行。
注意: この文書は、編集上の修正を行い、再承認されました。
本書の目的は、高純度ガス供給システムへマスフローブリッジ（ MFC ）の設置を検討する際に、 MFCの特性を示す方法を定義することである。 の能力に常時供給電圧が及びぼす影響を定量化する。
この手順は，サーマルマスフローコントローラに適用される。 供給される質量流量の変化を，基準常供給電圧からの偏移の関数として測定することを意図している。 MFCを対象に設計されている。電源電圧の影響には、 DC電源の電圧降下と過電圧変動が含まれる。
参照されるSEMI規格なし。
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