SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

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E07400 - SEMI E74 - 真空ポンプのインタフェースの仕様 - ターボモレキュラーポンプ
E07600 - SEMI E76 - 300 mm プロセス機器の施設サービスへの接続ポイントのガイド
E07700 - SEMI E77 - サロゲートガスを使用したマスフローコントローラーの変換係数計算の試験方法
E07700 - SEMI E77 - マスフローコントローラーの比較率の代用ガス使用による計算方法
E07800 - SEMI E78 - 機器の静電気放電 (ESD) および静電気吸引 (ESA) を評価および制御するためのガイド
E07800 - SEMI E78 - 装置のための静電気放電(ESD)と静電気吸着(ESA)の評価と管理へのガイド
E07900 - SEMI E79 - 機器の生産性の定義と測定に関する仕様
SEMI E79 - 機器の生産性の定義と測定に関する仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E08000 - SEMI E80 - マスフローコントローラーの姿勢感度を決定するための試験方法 (取り付け位置)
E08000 - SEMI E80 - マスフローコントローラーの姿勢知覚(取付位置)決定の試験方法
E08100 - SEMI E81 - CIMフレームワークドメインアーキテクチャに関する暫定仕様
SEMI E81 - CIMフレームワークドメインアーキテクチャに関する暫定仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E08100 - SEMI E81 - CIM フレームワーク ドメイン アーキテクチャの暫定仕様
SEMI E81 - CIM フレームワーク ドメイン アーキテクチャの暫定仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E08200 - SEMI E82 - インターベイ/イントラベイ AMHS SEM (IBSEM) の仕様
SEMI E82 - インターベイ/イントラベイ AMHS SEM (IBSEM) の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E08200 - SEMI E82 - 工程間/工程内AMHS SEMの仕様(IBSEM)
SEMI E82 - 工程間/工程内AMHS SEMの仕様(IBSEM) セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E08300 - SEMI E83 - PGVメカニカルドッキングフランジの仕様
SEMI E83 - PGVメカニカルドッキングフランジの仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E08300 - SEMI E83 - PGV 機械式ドッキング フランジの仕様
SEMI E83 - PGV 機械式ドッキング フランジの仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
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